HOME > Á¦Ç°¼Ò°³ > FIB System > SMI500
SMI 500 ³ª³ë°¡°ø Çö¹Ì°æ ½Ã½ºÅÛ
SMI500
°£´ÜÇÔ°ú Æí¸®¼º °ø°£Àý¾àÀ» Å°¿öµå·Î ÀüÀÚ µð¹ÙÀ̽º¿¡¼­ À¯±â Àç·á±îÁö ´Ù¾çÇÑ »ùÇÿ¡ ´ëÇÏ¿© ³ª³ë ¼öÁØÀÇ Çö¹Ì°æ °üÂû°ú ¹Ì¼¼°¡°øÀ» ½ÇÇöÇÏ¿´½À´Ï´Ù. Simple ¼³°è¿¡ ÀÇÇÑ Àú°¡°Ý ½ÇÇöÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ FIB ÀåÄ¡ÀÇ Å« Ư¡ÀΡ¸Æ¯Á¤À§Ä¡¡¹¿¡¼­ ±â°è ¿¬¸¶ µîÀ¸·Î´Â ¾òÀ» ¼ö ¾ø´Â ±ú²ýÇÑ ´Ü¸é °¡°ø¡¤°üÂûÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÎü°øÇп¡ ±âÃÊÇÑ ¿Ü°ü µðÀÚÀÎÀ̳ª ¾Ë±â ½¬¿î Á÷°¨ÀûÀÎ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¸¦ ÀÌ¿ë »ç¿ëÀÇ Æí¸®ÇÔÀ» Çâ»ó½ÃÄ×½À´Ï´Ù.

1. FIB ÀåÄ¡·Î´Â À¯·¡°¡ ¾ø´Â Àú·ÅÇÑ °¡°ÝÀ¸·Î ¿©·¯ ±â´ÉÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
2. ÀüÀÚµð¹ÙÀ̽º¡¤±Ý¼ÓÀç·á¡¤À¯±âÀç·á¡¤¹Ú¸·¡¤¼¼¶ó¹Í½º¡¤´ÙÀ̾Ƹóµå µî °í°æµµ Àç·á·ÎºÎÅÍ ºÎµå·¯¿î Àç·á
¡¡ º¹ÇÕ Àç·á¿¡ À̸£±â±îÁö ¿©·¯ ÀçÁúÀÇ »ùÇð¡°ø¿¡ ´ëÀÀ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
3. ±â°è¿¬¸¶ µî ´Ù¸¥ ½Ã·áÁ¦ÀÛ¿¡¼­´Â ¾òÀ» ¼ö ¾ø´Â ƯÁ¤À§Ä¡¿¡ ´Ü¸é°¡°øÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. À̹°¡¤¼®Ãâ¹° µî
¡¡ ƯÁ¤À§Ä¡ÀÇ ¹°Áú Çؼ®ÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
4. °í¼º´É FIB ColumnžÀç·Î ±ú²ýÇÏ°í ¹àÀº °üÂû»ó, FIB¸¸ÀÌ °¡´ÉÇÑ Channeling Contrast¸¦ »ì¸° °üÂû»ó µîÀ»
¡¡¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Åë»óÀÇ ´Ü¸é °üÂûÀº ¹°·Ð °¢Á¾ Àç·áÀÇ Grain Æò°¡³ª Á¢ÇÕ°è¸é Æò°¡¿¡ À§·ÂÀ» ¹ßÈÖÇÕ´Ï´Ù
5. º¤ÅͽºÄµ ¸ðµå¸¦ Ç¥ÁØÀ¸·Î ÁغñÇÏ¿© ¸¶ÀÌÅ©·Î ³ª³ë ´ÜÀ§ ¹Ì¼¼°¡°øÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¹Ì¼¼ ÆÐÅÏ °¡°øÀ̳ª ¹Ì¼¼
   ±ÝÇü °¡°øµîÀ» ½Ç½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
6. ½ÉÇÃÇÑ ÀåÄ¡±¸¼ºÀ¸·Î ¼³Ä¡ Àå¼Ò µîÀÇ Á¦ÇÑÀÌ Àû¾îÁ³½À´Ï´Ù.
7. Á÷°¨ÀûÀÎ Á¶ÀÛ Easy Navigation±â´É žÀç¿¡ ÀÇÇØ Ãʺ¸ÀÚµµ ½±°í °£´ÜÇÏ°Ô Á¶ÀÛ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
8. °¡½º °ø±Þ ½Ã½ºÅÛ(¿É¼Ç)¿¡ ÀÇÇØ Deposition °¡°øÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

600(W) x 700(D) x 1520(H)mm
¥õ32mmÀÌÇÏ¡¢t15mmÀÌÇÏ
5Axis Stage
Windows(R)¡¡VISTA
30kV
30,000¹èÀÌ»ó
100V : 15A
Dry Áú¼Ò
Vial Carbon Gas Gun
Ź»ó Á¶ÀÛ ÆгÎ
½Ã·á½Ç°üÂû¿ë CCD Ä«¸Þ¶ó
Á¶ÀÛ Å×À̺í