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HOME > 제품소개 > SANYU ELECTRON > SC-708 Series |
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Ion Sputtering 장치
*Coating Mode/Etching Mode 탑재 |
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SC-708 |
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① 대형 기판의 전면 Coating에 대응한 Ion Sputtering 장치
② Sputter Target는 4"/5"/6"/7"/8"와 1inch 단위로 구별된
Size를 준비
③ Sputter 박막 제작, Micro Channel 유로형성 시의 PDMS
표면처리에도 대응
④ Coating Mode/Etching Mode 탑재
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φ4～8inch / 2극 대칭
전극 |
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0～50mA (전류계 부속) |
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0.8 / 1.4kV |
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Needle
Valve |
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직결형 Rotary Pump:100l/min(자동 Leak) |
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내경φ240mm×D240mm(SUS
제) |
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전면 Door
개폐식 |
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Max.φ4
～8inch |
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중량:282/450/440mm
RP:460/175/265mm |
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중량:약20kg
RP:22kg |
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