|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
HOME > 제품소개 > SANYU ELECTRON > SVC-700(DP Type) |
|
|
|
|
 |
|
 |
|
 |
|
|
 |
|
 |
|
저항가열방식 COATER
*알류미늄등의 증착막 작성에 최적
|
|
 |
|
SVC-700 |
|
|
 |
|
 |
|
① 증착장치의 기본이 도는 Basic Model
② 알류미늄등의 증착막 작성에 최적
③ DP Type이지만 Switch에의한 Valve OPEN/CLOSE로 간단한 조작
④ 풍부한 Option이 장기적인 기능확장에 대응
|
|
 |
|
|
|
저항 가열
방식 |
|
|
12V50A /
7V80A (전환식) |
|
|
2조 |
|
|
DP:
200l/sec (LN2 Trap 부착)
RP: 20l/min (직결형)
Main
Valve： Butterfly Valve
|
|
|
10-4Pa 대 |
|
|
내경φ160mm×H240mm (유리 제. 보호 Cover 부속) |
|
|
600/400/800mm |
|
|
약
50kg |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
